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Hitachi SU9000新型超高分辨冷場發射掃描電鏡
日立2011年新推出了SU9000新型超高分辨冷場發射掃描電鏡，達到掃描電鏡高二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改進的真空系統和電子光學系統，不僅分辨率性能明顯提升，而且作為一款冷場發射掃描電鏡甚至不需要傳統意義上的Flashing操作，可以高效率的快速獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像。
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Hitachi SU8010高分辨場發射掃描電鏡
HITACHI SU-8010高分辨場發射掃描電鏡包括SU-8010主機和E-1045噴鉑噴碳裝置，并配備有EDAX X射線能譜儀。加速電壓為15kV時，分辨率為1.0nm，加速電壓為1kV時，分辨率為1.3nm。
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Hitachi S-3700N多功能分析型可變壓掃描電鏡
研究超大，超重，多功能分析型可變壓掃描電鏡可載樣品直徑達300mm；觀察區域直徑達203mm； 在觀察110mm高樣品時可進行能譜分析
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Hitachi SU3500新一代超高分辨鎢燈絲掃描電鏡
SU3500新一代超高分辨鎢燈絲掃描電鏡所具備的新型的模擬圖像和改進后的電子光學系統以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時，SE圖像可達7nm,5KV電壓時，BSE圖像可達10nm。新開發的自動多級電子槍偏壓機構能夠在不降低電子束大小的情況下，在一定范圍內的常用加速電壓下增加發射電流。因此，此款產品與S-3400N相比，噪音得以大幅減少，成像更加清晰。
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AeroSurf 1500全新臺式大氣壓顯微鏡
2016年，日立公司推出大氣壓下全新臺式大氣壓顯微鏡AeroSurf1500，其*的設計可在大氣壓下得到清晰的掃描電子圖像。
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TM4000/TM4000Plus臺式電子掃描電鏡
日立TM4000臺式電子掃描電鏡*的低真空系統使得樣品不需任何處理即可快速進行觀察。TM4000優化提供5kV、10kV、15kV三種不同電壓下的觀察模式，每種模式下電流4檔可調，并配備4分割背散射探測器，可采集四個不同方向的圖像信息，對樣品進行多種模式成像。具有全新的SEM-MAP導航功能，同時，電鏡圖片可以報告形式導出。配備大型樣品倉，可容納大樣品直徑80mm，厚度50mm。
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FlexSEM 1000鎢燈絲掃描電鏡
FlexSEM1000是日立公司推出的一款機型小巧性能優異的鎢燈絲掃描電鏡，擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設計，配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度導航系統及的自動化功能，使性能更加優越，使用更加簡便。
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